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Bague en céramique de haute précision en alumine
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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ST.CERA Équipements semi-conducteurs personnalisés Mandrins en céramique
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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Effecteur terminal en céramique de carbure de silicium (SiC) – Haute rigidité pour la manipulation de plaquettes à haute température
L'effecteur en céramique SiC de St.Cera est fabriqué à partir de carbure de silicium de haute pureté (teneur en SiC de 99,72 %, teneur en Si libre de 0,05 %), selon le lot S1111. Il offre des propriétés mécaniques exceptionnelles : résistance à la flexion de 449 MPa (mesurée), module d'élasticité de 457 GPa (mesuré) et dureté Vickers de 25 à 28 GPa (valeur typique). Sa faible densité (3,10 à 3,15 g/cm³, valeur typique) lui confère une rigidité spécifique élevée, idéale pour les robots de transfert de plaquettes à grande vitesse. Avec une conductivité thermique de 120 à 150 W/m·K (valeur typique) et un coefficient de dilatation thermique de 4,0 à 4,5 × 10⁻⁶/°C (valeur typique), cet effecteur dissipe efficacement la chaleur et conserve sa stabilité dimensionnelle lors de manipulations à haute température (jusqu'à 1 600 à 1 700 °C, à vide). Sa couleur noire/grise et son absorption d'eau nulle garantissent sa compatibilité avec les salles blanches.
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Mandrin à vide en carbure de silicium (SiC) pour environnements à haute température et plasma
Le mandrin céramique à base de SiC de St.Cera est fabriqué à partir de carbure de silicium de haute pureté (lot S1111, SiC 99,72 %, Si libre 0,05 %). Il présente une résistance à la flexion mesurée de 449 MPa, une ténacité à la rupture de 3,12 MPa·m¹/² et un module d'élasticité de 457 GPa. La conductivité thermique typique du matériau (120–150 W/m·K) et son faible coefficient de dilatation thermique (4,0–4,5 × 10⁻⁶/°C) permettent une montée en température rapide et une déformation minimale de la plaquette lors des cycles thermiques. Le mandrin peut être configuré en mandrin à vide poreux (flux de gaz uniforme) ou en mandrin standard rainuré. Avec une température d'utilisation maximale de 1600 à 1700 °C (sans charge) et une résistance exceptionnelle à l'érosion par plasma, ce mandrin est idéal pour le traitement des plaquettes à haute température (recuit, RTP) et les chambres de gravure agressives où les mandrins en alumine se dégradent.
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Pièces de rechange en céramique pour équipements semi-conducteurs, supports en céramique
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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Bague de meulage en céramique d'alumine à support métallique pour applications de rodage haute rigidité
La bague de rectification en alumine sur support métallique de St.Cera associe une couche d'usure en céramique d'alumine de haute pureté (99,8 % Al₂O₃) à un support métallique usiné avec précision (généralement en aluminium ou en acier inoxydable). Cette conception hybride offre l'exceptionnelle résistance à l'usure et l'inertie chimique de la céramique sur la surface de rectification, tandis que le support métallique assure une robustesse mécanique, une facilité de montage et une résistance à la rupture fragile. La couche d'alumine présente une résistance à la flexion de 361 MPa, une dureté Vickers de 16 GPa et une stabilité thermique jusqu'à 800 °C. Le support métallique peut être personnalisé avec des trous de fixation, des ergots de positionnement ou des propriétés magnétiques pour une intégration dans les machines de rodage, les rectifieuses planétaires et les équipements de polissage chimico-mécanique (CMP).
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Pièces de rechange en céramique pour équipements de stations de test de semi-conducteurs
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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Traitement personnalisé des mandrins à plaquettes céramiques Al2O3
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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Plaque céramique ST.CERA pour équipements semi-conducteurs personnalisés
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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Mandrin à vide en alumine de 12 pouces pour le traitement de plaquettes de 300 mm
Le mandrin à vide de 305 mm (12 pouces) de St.Cera est fabriqué avec précision à partir d'alumine de haute pureté (Al₂O₃) à 99,8 % pour la manipulation de plaquettes de 300 mm. Sa surface est dotée de rainures fines (largeur de rainure : 0,5 à 1,0 mm, pas : 2 à 3 mm) assurant une distribution uniforme du vide sur tout le diamètre de 300 mm. La planéité est maintenue à 5 µm près, permettant une fixation sans déformation des plaquettes lors du découpage, du meulage de la face arrière et du contrôle. La haute résistance à la flexion (361 MPa) et la dureté (16 GPa) du matériau garantissent une stabilité dimensionnelle à long terme, même après des cycles de vide répétés.
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Effecteur terminal en céramique d'alumine avec canaux de vide intégrés
L'effecteur de vide en alumine de St.Cera intègre des canaux de vide et des orifices d'aspiration usinés avec précision directement dans le corps en alumine de haute pureté (99,8 %). Cette conception élimine les supports de vide externes, permettant une prise directe des plaquettes avec une force de maintien uniforme. La haute résistance à la flexion (361 MPa) et la dureté (16 GPa) du matériau garantissent une stabilité dimensionnelle à long terme, même sous des cycles de vide répétés. La planéité de la zone des supports est maintenue à moins de 10 µm, évitant ainsi les contraintes et la rupture des plaquettes. Les ports de vide sont situés sur la bride de montage arrière pour une intégration aisée avec les bras robotisés des fabricants d'équipement d'origine (OEM).
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Pièces en céramique d'alumine résistantes aux décharges électrostatiques pour la manipulation de plaquettes sensibles à l'électricité statique
Les pièces en céramique d'alumine protégées contre les décharges électrostatiques (ESD) de St.Cera sont fabriquées à partir d'Al₂O₃ de haute pureté (99,8 %) et présentent une résistivité de surface optimisée de 10⁶ à 10⁹ Ω/sq, obtenue grâce à un procédé de dopage ou de revêtement exclusif. Ces pièces dissipent efficacement les charges statiques, prévenant ainsi les dommages électrostatiques aux plaquettes et dispositifs semi-conducteurs sensibles. Le matériau de base conserve sa haute résistance à la flexion (361 MPa), sa dureté (16 GPa) et sa rigidité diélectrique (15 × 10⁶ V/m). Parmi les pièces en céramique protégées contre les ESD, on trouve des effecteurs, des broches de levage, des rails de guidage et des dispositifs de fixation sur mesure pour l'automatisation des salles blanches.
