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Effecteur terminal en céramique d'alumine de haute pureté pour robots de manipulation de plaquettes
L'effecteur en céramique d'alumine de St.Cera est usiné avec précision à partir d'Al₂O₃ de haute pureté (99,8 %) grâce à des rectifieuses CNC 5 axes de pointe. Nos capacités de production incluent des rectifieuses de précision et des centres d'usinage CNC, permettant la réalisation de géométries complexes avec une grande précision. L'effecteur présente un profil mince (jusqu'à 1,5 mm) et un bord d'attaque conique pour une insertion aisée de la plaquette. Le matériau offre une rigidité élevée (module de Young de 380 GPa), une excellente résistance à l'usure et une stabilité thermique jusqu'à 800 °C. Chaque unité est rectifiée avec précision pour atteindre une planéité de 0,003 mm, un parallélisme de 0,002 mm et un état de surface Ra 0,1, garantissant un contact constant avec la plaquette et un fonctionnement sans particules dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs. Disponible en longueurs de 150 mm à 450 mm, avec des géométries de pointe personnalisées (à mors, Bernoulli, plate) et des brides de montage compatibles avec les robots OEM. Les options de finition de surface comprennent le rodage, le polissage ou le revêtement dissipateur ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
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Effecteur terminal Bernoulli en céramique d'alumine personnalisé ST.CERA
En tant que fabricant leader de bras de manipulation/effecteurs terminaux en céramique, nous avons développé un bras de manipulation/effecteur terminal novateur répondant aux besoins du marché. Ce bras, basé sur le principe de Bernoulli, permet de faire léviter et de transporter la plaquette par flux d'air, avec un contact périphérique minimal.
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Effecteur terminal céramique ESD personnalisé ST.CERA
Grâce à ses propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et d'isolation, la céramique peut être utilisée pendant longtemps dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même dans des conditions de haute température, de vide ou de gaz corrosifs.
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effecteur de préhension en céramique d'alumine personnalisé ST.CERA
Grâce à ses propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et d'isolation, la céramique peut être utilisée pendant longtemps dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même dans des conditions de haute température, de vide ou de gaz corrosifs.
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effecteur terminal de plateau en céramique d'alumine personnalisé ST.CERA
Il s'agit d'un effecteur terminal/bras de manipulation en céramique de type plateau, utilisé sous vide.
L'effecteur terminal/bras de manipulation en céramique est « plus résistant à la chaleur », « moins déformable » et « plus léger » que les modèles en métal.
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effecteur de vide en céramique d'alumine personnalisé ST.CERA
Grâce à ses propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et d'isolation, la céramique peut être utilisée pendant longtemps dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même dans des conditions de haute température, de vide ou de gaz corrosifs.
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Effecteur terminal en céramique d'alumine personnalisé ST.CERA
ST.CERA propose un revêtement ESD et un matériau céramique ESD pour l'effecteur final. Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600 ℃.
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Effecteur terminal de vide en céramique d'alumine personnalisé ST.CERA
Il s'agit d'un effecteur terminal/bras de manipulation en céramique de type plateau, utilisé sous vide.
L'effecteur terminal/bras de manipulation en céramique est « plus résistant à la chaleur », « moins déformable » et « plus léger » que les modèles en métal.
Grâce à ses propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et d'isolation, la céramique peut être utilisée pendant longtemps dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même dans des conditions de haute température, de vide ou de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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ST.CERA Effecteur final en céramique d'alumine personnalisé pour la manipulation de plaquettes
ST.CERA propose des bras de manipulation/effecteurs terminaux en céramique avec revêtement ESD et canal creux intégré. Notre expertise réside dans une technique permettant de créer un canal d'air sous vide à l'intérieur d'une seule pièce, sans adhésif.
Il n'y a aucun risque de contamination, de dégazage ou de particules. Le bras de manipulation/effecteur sous vide de ST.CERA, doté d'une technologie de revêtement spéciale, est isolé électriquement. Nous proposons également un matériau céramique ESD isolé électriquement, sans revêtement.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃. -
Composants d'équipement semi-conducteurs à effecteur terminal en céramique d'alumine
Empêcher les particules qui peuvent se générer à partir des bords biseautés ou inclinés et de la surface arrière pendant le transport des plaquettes ou leur contact avec l'effecteur terminal / le bras de manutention.
Pour les guides, on a adopté un matériau souple qui n'endommage pas la plaquette.
L'amincissement est possible grâce à la technologie de canal sous vide intégrée de ST.CERA qui ne nécessite aucun adhésif.
Il est possible de réaliser des trous de fixation et de modifier la longueur et la largeur de la base sur laquelle l'effecteur terminal/bras de manipulation est monté sur le robot.
Les capteurs de montage, les vis et les supports sont disponibles en option.
Conçu pour être utilisé en atmosphère ambiante.
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Usinage CNC sur mesure de l'effecteur final en céramique St.Cera
ST.CERA propose un bras de manipulation/effecteur terminal en céramique sous vide avec canal creux intégré. Nous sommes spécialisés dans une technique permettant de former un canal d'air sous vide à l'intérieur d'une seule pièce de matériau, sans utiliser de colle.
Il n'y a aucun risque de contamination, de dégazage ou de particules. Le bras de manipulation/effecteur à vide ST.CERA, doté d'un canal intégré, est robuste et utilisable à haute température. De plus, l'élimination des étapes d'assemblage superflues permet de réduire nos coûts de fabrication.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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effecteur terminal en céramique antistatique d'alumine
Grâce à ses propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et d'isolation, la céramique peut être utilisée pendant longtemps dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même dans des conditions de haute température, de vide ou de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
