Effecteur terminal en céramique de carbure de silicium (SiC) – Haute rigidité pour la manipulation de plaquettes à haute température
L'effecteur en céramique SiC de St.Cera est fabriqué à partir de carbure de silicium de haute pureté (teneur en SiC de 99,72 %, teneur en Si libre de 0,05 %), selon le lot S1111. Il offre des propriétés mécaniques exceptionnelles : résistance à la flexion de 449 MPa (mesurée), module d'élasticité de 457 GPa (mesuré) et dureté Vickers de 25 à 28 GPa (valeur typique). Sa faible densité (3,10 à 3,15 g/cm³, valeur typique) lui confère une rigidité spécifique élevée, idéale pour les robots de transfert de plaquettes à grande vitesse. Avec une conductivité thermique de 120 à 150 W/m·K (valeur typique) et un coefficient de dilatation thermique de 4,0 à 4,5 × 10⁻⁶/°C (valeur typique), cet effecteur dissipe efficacement la chaleur et conserve sa stabilité dimensionnelle lors de manipulations à haute température (jusqu'à 1 600 à 1 700 °C, à vide). Sa couleur noire/grise et son absorption d'eau nulle garantissent sa compatibilité avec les salles blanches.
Caractéristiques(d'après le rapport de test SiC S1111 fourni et les valeurs typiques)):
| Propriété | Valeur |
| Matériel | SiC (99,72 % SiC, 0,05 % Si libre) |
| Couleur | Noir/Gris |
| Densité | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Absorption d'eau | 0% |
| Résistance à la flexion | 449 MPa (moyenne) |
| Résistance à la rupture | 3,12 MPa·m¹/² (moyenne) |
| Module d'élasticité | 457 GPa |
| Dureté Vickers | 25–28 GPa |
| Conductivité thermique (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Température d'utilisation maximale (sans charge) | 1600–1700°C |
Applications :
● Manipulation de plaquettes à haute température (post-recuit, RTP, épitaxie)
● Chambres de gravure plasma nécessitant une résistance élevée à l'érosion
● Robots de transfert à grande vitesse (légers, à haute rigidité)
Fabrication:
Frittage de poudre de SiC → rectification CNC de précision du profil du bras et des éléments de fixation → rodage de surface → nettoyage par ultrasons. Contrôle dimensionnel à 100 % et test d'étanchéité à l'hélium pour les applications sous vide.
Contrôle de qualité:
● Inspection par machine à mesurer tridimensionnelle (MMT) de la longueur, de la largeur et de la planéité
● Essai de résistance à la flexion par lot (selon la norme du rapport d'essai)
● Inspection visuelle au microscope pour détecter les défauts de surface
Avantages par rapport à l'alumine ou au métal :
● Module d'élasticité 2 fois supérieur (457 GPa contre environ 380 GPa pour l'alumine) – déformation moindre
● Conductivité thermique 3 fois supérieure – dissipation de chaleur plus rapide
● Résiste à des températures supérieures à 1 600 °C contre 800 °C pour l’alumine dans l’air
● Densité inférieure à celle de l'acier – réduction de poids de 40 %
Personnalisation :
Longueurs 150–450 mm, formes d'embout (prise de bord, Bernoulli, plat), modèles de bride de montage selon le dessin OEM.
*Toutes les données mécaniques ci-dessus proviennent du rapport d'essai fourni (lot S1111). Les valeurs thermiques et de dureté sont typiques de cette nuance de SiC ; veuillez nous contacter pour obtenir une certification spécifique au lot.*
