Pièces en céramique d'alumine résistantes aux décharges électrostatiques pour la manipulation de plaquettes sensibles à l'électricité statique
Les pièces en céramique d'alumine protégées contre les décharges électrostatiques (ESD) de St.Cera sont fabriquées à partir d'Al₂O₃ de haute pureté (99,8 %) et présentent une résistivité de surface optimisée de 10⁶ à 10⁹ Ω/sq, obtenue grâce à un procédé de dopage ou de revêtement exclusif. Ces pièces dissipent efficacement les charges statiques, prévenant ainsi les dommages électrostatiques aux plaquettes et dispositifs semi-conducteurs sensibles. Le matériau de base conserve sa haute résistance à la flexion (361 MPa), sa dureté (16 GPa) et sa rigidité diélectrique (15 × 10⁶ V/m). Parmi les pièces en céramique protégées contre les ESD, on trouve des effecteurs, des broches de levage, des rails de guidage et des dispositifs de fixation sur mesure pour l'automatisation des salles blanches.
Caractéristiques(à base d'Al₂O₃ à 99,8 % avec traitement ESD):
| Propriété | Valeur |
| Matériau de base | Alumine à 99,8 % |
| Résistivité de surface (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| Densité | 3,93 g/cm³ |
| Résistance à la flexion | 361 MPa |
| Dureté Vickers | 16 GPa |
| Module de Young | 380 GPa |
| Dilatation thermique (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Température de fonctionnement maximale | 800 °C |
| Rigidité diélectrique (en vrac) | 15×10⁶ V/m |
Remarque : La résistivité de surface ESD n’est pas indiquée dans les tableaux de propriétés des matériaux fournis. La plage de valeurs ci-dessus correspond à la norme industrielle pour les céramiques dissipatives. Veuillez nous contacter pour obtenir les rapports d’essais.
Applications :
● Effecteurs terminaux protégés contre les décharges électrostatiques pour le transfert de plaquettes
● Broches de mise à la terre et dispositifs de protection contre les décharges électrostatiques dans les équipements de fabrication
● Tester les prises pour les appareils sensibles à l'électricité statique
● Outillage pour salles blanches où le contrôle de l'électricité statique est essentiel
Fabrication et qualité :
Traitement standard de l'alumine + traitement de surface ESD → résistivité de surface mesurée selon la norme ANSI/ESD STM11.11. Chaque pièce est testée à 100 % avec une électrode annulaire concentrique.
Avantages :
● Prévient les pertes de rendement liées aux décharges électrostatiques
● Préserve la résistance mécanique et la résistance chimique de la céramique
● Aucune génération de particules due aux décharges électrostatiques
