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Anneau d'isolation en alumine PVD pour systèmes de dépôt physique en phase vapeur
L'anneau d'isolation PVD de St.Cera est fabriqué à partir d'alumine (Al₂O₃) de haute pureté (99,8 %) pour les systèmes de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Cet anneau assure l'isolation électrique entre les composants de la chambre, prévenant ainsi les arcs électriques et garantissant un fonctionnement stable du plasma. Ses principales caractéristiques comprennent une rigidité diélectrique élevée (15 × 10⁶ V/m), une résistivité supérieure à 10¹⁴ Ω·mm²/m et une stabilité thermique jusqu'à 1 600 °C. Grâce à notre usinage de précision, nous obtenons des diamètres extérieurs jusqu'à 600 mm, des diamètres intérieurs jusqu'à 0,2 mm, une planéité de 0,003 mm et un état de surface Ra 0,1. L'absence de porosité et l'inertie chimique de l'anneau garantissent une fiabilité à long terme, même dans les environnements de pulvérisation cathodique les plus agressifs.
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Pièces en céramique d'alumine pour systèmes d'évaporation de pistolets électroniques
St.Cera fabrique des composants en céramique d'alumine de haute pureté (99,8 %) spécialement conçus pour les systèmes d'évaporation par faisceau d'électrons (canon E). Ces pièces comprennent des revêtements de creuset, des écrans déflecteurs de faisceau, des isolateurs et des dispositifs de fixation. Le matériau offre une rigidité diélectrique élevée (15 × 10⁶ V/m), une stabilité thermique jusqu'à 1 600 °C et une excellente résistance aux chocs thermiques et aux attaques chimiques des matériaux évaporés. Nos capacités d'usinage de précision permettent de réaliser des géométries complexes avec une dimension minimale de 0,2 mm, une planéité de 0,003 mm et un état de surface Ra 0,1. Chaque pièce est contrôlée à 100 % par machine à mesurer tridimensionnelle (MMT) pour garantir sa précision dimensionnelle.
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Pièces en céramique d'alumine à 99,5 % personnalisées ST.CERA
Les pièces structurales en céramique désignent un ensemble de pièces céramiques de formes complexes. Fabriquées à partir de poudre céramique de haute pureté, ces pièces sont formées par pressage à sec ou pressage isostatique à froid, puis frittées à haute température et enfin usinées avec précision. Grâce à leurs propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et à l'isolation, elles sont largement utilisées dans les secteurs des semi-conducteurs, des communications optiques, des lasers, du matériel médical, du pétrole, de la métallurgie et de l'électronique.
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Bras de chargement en céramique d'alumine 99,5 % personnalisé ST.CERA
L'effecteur terminal en céramique / bras de manutention est installé sur le robot de manutention de plaquettes ou « effecteur terminal » et est utilisé pour transporter les plaquettes de silicium dans ou hors des cassettes ou des chambres de traitement.
Les avantages de l'utilisation de la céramique sont la réduction de la déformation grâce à sa haute résistance à la flexion, sa résistance aux hautes températures et l'élimination de la contamination et des particules métalliques. -
Composants céramiques personnalisés ST.CERA à 99,5 % d'alumine
Fabriqués à partir de poudre céramique de haute pureté, les composants céramiques sont formés par pressage à sec ou pressage isostatique à froid, puis frittés à haute température et enfin usinés avec précision. Grâce à leurs propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et à l'isolation, ils sont largement utilisés dans les secteurs des semi-conducteurs, des communications optiques, des lasers, du matériel médical, du pétrole, de la métallurgie et de l'électronique.
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Bras de manipulation de plaquettes en céramique d'alumine de précision pour semi-conducteurs
Grâce à ses propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et d'isolation, la céramique peut être utilisée pendant longtemps dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même dans des conditions de haute température, de vide ou de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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Composants d'équipement semi-conducteurs à bras en céramique d'alumine isolée
Empêcher les particules qui peuvent se générer à partir des bords biseautés ou inclinés et de la surface arrière pendant le transport des plaquettes ou leur contact avec l'effecteur terminal / le bras de manutention.
Pour les guides, on a adopté un matériau souple qui n'endommage pas la plaquette.
L'amincissement est possible grâce à la technologie de canal sous vide intégrée de ST.CERA qui ne nécessite aucun adhésif.
Il est possible de réaliser des trous de fixation et de modifier la longueur et la largeur de la base sur laquelle l'effecteur terminal/bras de manipulation est monté sur le robot.
Les capteurs de montage, les vis et les supports sont disponibles en option.
Conçu pour être utilisé dans l'atmosphère
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Résistance aux hautes températures des céramiques d'alumine de précision
Fabriqué à partir de poudre céramique de haute pureté, le tube en céramique est formé par pressage à sec ou par pressage isostatique à froid, puis fritté à haute température et enfin usiné avec précision. Grâce à ses nombreux avantages, tels que sa résistance à l'abrasion et à la corrosion, sa dureté et sa ténacité élevées, ainsi que son faible coefficient de frottement, il est largement utilisé dans les équipements médicaux, les machines de précision, les lasers, la métrologie et les instruments de contrôle. Il peut fonctionner durablement en milieux acides et alcalins, et sa température maximale peut atteindre 1 600 °C.
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Tige en céramique d'alumine haute pression et résistante à l'usure, piston en céramique
Fabriquée à partir de poudre céramique de haute pureté, la barre est formée par pressage à sec ou par pressage isostatique à froid, puis frittée à haute température et enfin usinée avec précision. Grâce à ses nombreux avantages, tels que sa résistance à l'abrasion et à la corrosion, sa dureté et sa ténacité élevées, ainsi que son faible coefficient de frottement, elle est largement utilisée dans les équipements médicaux, les machines de précision, les lasers, la métrologie et les instruments de contrôle. Elle peut fonctionner durablement en milieux acides et alcalins, et sa température maximale peut atteindre 1 600 °C.
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Manchon d'arbre en céramique d'alumine, piston en céramique
Fabriquée à partir de poudre céramique de haute pureté, la barre céramique est formée par pressage à sec ou pressage isostatique à froid, frittée à haute température, puis usinée avec précision. Grâce à ses nombreux avantages, tels que sa résistance à l'abrasion et à la corrosion, sa dureté et sa ténacité élevées, ainsi que son faible coefficient de frottement, elle est largement utilisée dans les équipements médicaux, les machines de précision, les lasers, la métrologie et les instruments de contrôle. Elle peut fonctionner durablement en milieux acides et alcalins, et sa température maximale peut atteindre 1 600 °C. Les matériaux céramiques couramment utilisés sont la zircone, l'alumine (Al₂O₃) à 95 %–99,9 % de pureté, le nitrure de silicium (Si₃N₄), le nitrure d'aluminium (AlN), etc.
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Excellentes performances des pièces structurelles mécaniques en céramique d'alumine
Les pièces structurales en céramique désignent de manière générale des pièces en céramique de formes complexes. Fabriquées à partir de poudre céramique de haute pureté, ces pièces sont formées par pressage à sec ou par pressage isostatique à froid, puis frittées à haute température et enfin usinées avec précision. Elles sont largement utilisées dans les secteurs des semi-conducteurs, des communications optiques, des lasers, du matériel médical, du pétrole, de la métallurgie et de l'électronique.
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Composants structurels en céramique d'alumine
Le terme « pièces structurales en céramique » désigne de manière générale des pièces en céramique de formes complexes variées. Elles sont formées par pressage à sec ou par pressage isostatique à froid, puis frittées à haute température et enfin usinées avec précision.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 400 ℃ à 800 ℃.
