Effecteur terminal en céramique d'alumine avec canaux de vide intégrés
L'effecteur de vide en alumine de St.Cera intègre des canaux de vide et des orifices d'aspiration usinés avec précision directement dans le corps en alumine de haute pureté (99,8 %). Cette conception élimine les supports de vide externes, permettant une prise directe des plaquettes avec une force de maintien uniforme. La haute résistance à la flexion (361 MPa) et la dureté (16 GPa) du matériau garantissent une stabilité dimensionnelle à long terme, même sous des cycles de vide répétés. La planéité de la zone des supports est maintenue à moins de 10 µm, évitant ainsi les contraintes et la rupture des plaquettes. Les ports de vide sont situés sur la bride de montage arrière pour une intégration aisée avec les bras robotisés des fabricants d'équipement d'origine (OEM).
Caractéristiques(à base d'Al₂O₃ à 99,8 %):
| Propriété | Valeur |
| Matériel | 99,8 % d'alumine (ivoire) |
| Densité | 3,93 g/cm³ |
| Résistance à la flexion | 361 MPa |
| Dureté Vickers | 16 GPa |
| Module de Young | 380 GPa |
| Dilatation thermique | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Planéité du coussin | ≤10 μm |
| Largeur du canal d'aspiration | 0,5–2,0 mm |
| Température de fonctionnement maximale | 800 °C |
Applications :
● Aspiration par le vide de plaquettes minces ou déformées
● Manipulation directe des plaquettes sans préhension par les bords
● Transfert de substrat pour cellules solaires et LED
Fabrication:
Ébauche d'alumine frittée → Perçage CNC 5 axes des canaux et trous pour le vide → Rodage de surface → Nettoyage par ultrasons → Test d'étanchéité à l'hélium. Chaque effecteur est testé à 100 % pour garantir l'uniformité du vide.
Avantages :
● Absence de coussinets d'aspiration externes (réduit les sources de particules)
● Une pression de maintien uniforme empêche le marquage des plaquettes
● Chimiquement inerte et compatible avec les salles blanches
