Mandrin à vide en alumine de 12 pouces pour le traitement de plaquettes de 300 mm
Le mandrin à vide de 305 mm (12 pouces) de St.Cera est fabriqué avec précision à partir d'alumine de haute pureté (Al₂O₃) à 99,8 % pour la manipulation de plaquettes de 300 mm. Sa surface est dotée de rainures fines (largeur de rainure : 0,5 à 1,0 mm, pas : 2 à 3 mm) assurant une distribution uniforme du vide sur tout le diamètre de 300 mm. La planéité est maintenue à 5 µm près, permettant une fixation sans déformation des plaquettes lors du découpage, du meulage de la face arrière et du contrôle. La haute résistance à la flexion (361 MPa) et la dureté (16 GPa) du matériau garantissent une stabilité dimensionnelle à long terme, même après des cycles de vide répétés.
Caractéristiques (à base d'Al₂O₃ à 99,8 %) :
| Propriété | Valeur |
| Diamètre | 300 mm (12 pouces) |
| Matériel | 99,8 % d'alumine (ivoire) |
| Densité | 3,93 g/cm³ |
| Résistance à la flexion | 361 MPa |
| Dureté Vickers | 16 GPa |
| Planéité (plus de 300 mm) | ≤5 μm |
| Largeur de la rainure | 0,5–1,0 mm |
| Température de fonctionnement maximale | 800 °C |
| Force diélectrique | 15×10⁶ V/m |
Applications :
Découpe et traçage de plaquettes de 300 mm
• Meulage de la face arrière de la plaquette (support de plaquette mince)
• Inspection et sondage optiques
Mandrins de collage/décollage temporaires
Fabrication:
Rectifiés et rodés par commande numérique pour une planéité finale, rainurés avec des meules diamantées, nettoyés par ultrasons et conditionnés en salle blanche de classe 100. Chaque mandrin est contrôlé à 100 % pour sa planéité (interféromètre laser) et la profondeur de ses rainures (profilomètre).
Avantages:
Faible génération de particules (≤0,05 particules/cm²)
• Chimiquement inerte aux solvants et aux acides
Surface protégée contre les décharges électrostatiques (résistivité > 10¹³ Ω·cm)
Configurations personnalisées des trous d'aspiration et ports arrière disponibles.
