Mandrin à vide en céramique poreuse pour la manipulation de plaquettes déformées
Le mandrin en céramique poreuse de St.Cera est fabriqué en alumine de haute pureté présentant une porosité ouverte uniforme de 30 à 45 % et des pores de 10 à 100 µm. Contrairement aux mandrins rainurés classiques, sa surface poreuse assure un vide réparti sur toute la face arrière de la plaquette, maintenant efficacement les plaquettes déformées, fines ou monoblocs sans risque de décollement ni de rupture. Le vide doux (réglable par un restricteur) prévient également le marquage de la face arrière.
Caractéristiques(basé sur 99,6 % d'Al)₂O₃):
| Propriété | Valeur |
| Porosité | 30 à 45 % |
| Taille moyenne des pores | 10–100 μm (sélectionnable) |
| Résistance à la flexion | ≥250 MPa |
| Planéité (plus de 300 mm) | ≤5 μm |
| Finition de surface | Rodé (Ra 0,8 μm) |
| Niveau de vide maximal | -80 kPa |
| Température de fonctionnement | 400 °C (air), 600 °C (inerte) |
| Matériel | 99,6 % d'Al₂O₃, ZrO₂ ou SiC |
Applications :
Meulage de la face arrière de plaquettes minces (≤ 50 μm)
Support de plaquette déformé pour le découpage
Prise de puce individuelle à partir de la bande
manutention des panneaux de verre
Fabrication et qualité :
Poudre céramique mélangée à des agents porogènes organiques → pressée → frittée → rodée jusqu'à l'épaisseur finale. Chaque pièce est soumise à un test d'écoulement sous vide pour vérifier l'uniformité du vide (écart ≤ 5 %) et à un contrôle de la distribution de la taille des pores (MEB). La planéité est mesurée par interférométrie laser.
Avantages par rapport aux mandrins rainurés :
Aucun marquage des bords de la plaquette ni décalage de la puce
Peut contenir des plaquettes déformées (jusqu'à 500 μm de courbure)
Élimine l'obstruction des orifices d'aspiration
Support autonivelant pour substrats minces
Personnalisation :
Formes rondes ou rectangulaires, jusqu'à 600 mm de diamètre. Possibilité d'appliquer des joints d'étanchéité ou des cloisons sous vide. Versions à support métallique disponibles pour les applications exigeant une grande rigidité.
Demandez un échantillon pour votre test de taille et de déformation de plaquette.
