Plaque de distribution de gaz en alumine pour pommeau de douche CVD/PVD
La plaque de distribution de gaz (type pommeau de douche) de St.Cera est usinée avec précision à partir de céramique d'alumine de haute pureté (99,8 %). Elle est dotée d'un réseau de micro-orifices (diamètres de 0,3 à 1,5 mm) qui assurent un flux de gaz uniforme sur la surface de la plaquette lors des procédés CVD, PVD ou ALD. Sa rigidité diélectrique élevée (> 15 × 10⁶ V/m) et sa résistance au plasma en font un élément essentiel pour le dépôt de couches minces semi-conductrices.
Caractéristiques:
| Propriété | Valeur |
| Matériel | 99,8 % Al₂O₃ ou SiC |
| Diamètre | 100 – 1500 mm (rond) ou rectangulaire |
| Épaisseur | 5 – 20 mm |
| Diamètre du trou | 0,3 – 1,5 mm |
| Motif de perforation | Personnalisé (triangulaire, carré, radial) |
| Platitude | ≤10 μm sur toute la surface |
| Rugosité de surface | Ra ≤ 0,6 μm (côté gaz) |
| Rapport de surface ouverte | 5 à 15 % |
Applications :
plaques de pommeau de douche PECVD
Injecteurs de gaz ALD
plaques de distribution de gaz de la chambre de gravure
composants du réacteur MOCVD
Fabrication:
Substrat en alumine rodé à plat → Perçage CNC avec outils revêtus de diamant (tolérance de position du trou ±0,02 mm) → ébavurage → nettoyage par ultrasons → Emballage de classe 100.
Contrôle de qualité:
Chaque plaque est inspectée à 100 % afin de vérifier la taille des trous (système de vision), la planéité (interféromètre laser) et l'uniformité du flux de gaz (cartographie de pression). Aucune microfissure n'est visible au microscope (grossissement 20x).
Avantages par rapport aux plaques métalliques :
Absence de contamination métallique dans les couches minces
Réduction de la production de particules (absence de particules de corrosion)
Résiste aux plasmas de nettoyage agressifs (CF₄, NF₃)
Fonctionnalités personnalisées :
Canaux de gaz arrière, trous contre-percés, joints de bord et différentes qualités de matériaux (SiC pour une conductivité thermique plus élevée, revêtement Y₂O₃ pour la résistance au plasma).
Nous proposons une vérification CAO et une simulation des flux avant la fabrication.
