Broche de support en céramique pour dispositifs de fabrication de semi-conducteurs
Les broches de support en céramique de St.Cera (également appelées broches de levage ou broches de support) sont utilisées dans les chambres de traitement des semi-conducteurs pour surélever les plaquettes ou les substrats lors de leur manipulation, de leur chauffage ou de leur refroidissement. Fabriquées à partir d'alumine à 99,8 % ou de nitrure de silicium, ces broches offrent une résistance élevée à la compression, une excellente stabilité thermique et une grande résistance chimique. Leur extrémité hémisphérique ou plate évite les rayures sur les plaquettes.
Caractéristiques(Alumine 99,8%) :
| Propriété | Valeur |
| Matériel | 99,8 % Al₂O₃ ou Si₃N₄ |
| Longueur | 10 – 100 mm |
| Diamètre | 1 – 10 mm |
| Forme de l'extrémité | Plat, hémisphérique, pointu |
| Résistance à la compression (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Température de fonctionnement maximale (Al₂O₃) | 1600°C |
| Finition de surface | Rodé (Ra ≤ 0,4 μm) |
| Tolérance sur le diamètre | ±0,01 mm |
Applications :
Goupilles de levage dans les chambres CVD/PVD
Broches de support pour la cuisson sur plaque chauffante
Structures de support des cartes de sonde
supports de bateau pour four à quartz
Fabrication:
Rectification sans centre de précision du diamètre extérieur → rectification diamantée du profil de pointe → nettoyage par ultrasons → contrôle dimensionnel à 100 %.
Contrôle de qualité:
Mesure de longueur et de diamètre par machine à mesurer tridimensionnelle, mesure du rayon de courbure de la pointe par comparateur optique, essai de charge pour vérifier la résistance à la compression (échantillon aléatoire par lot). Absence de contamination ferromagnétique (vérifiée à l'aide d'un aimant).
Avantages par rapport aux broches en métal ou en quartz :
Durée de vie 5 fois supérieure à celle de l'acier inoxydable
Aucune contamination métallique dans la chambre de traitement
Résistance à des températures plus élevées que le quartz (1600 °C contre 1100 °C)
Surface antiadhésive (adhérence réduite des particules)
Personnalisation :
Plusieurs profils d'embout, base filetée ou tige conique.
Nous fournissons également des broches en SiC pour les environnements plasma extrêmes.
