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Bras robotisé en céramique d'alumine de haute pureté pour la manipulation de plaquettes
Le bras robotisé en céramique d'alumine de St.Cera est fabriqué avec précision à partir d'Al₂O₃ (alumine) de haute pureté (99,8 %). Il combine une résistance à la flexion exceptionnelle (361 MPa), une dureté élevée (16 GPa) et une faible densité (3,93 g/cm³), ce qui en fait un bras à la fois léger et rigide pour le transfert de plaquettes de semi-conducteurs. Le coefficient de dilatation thermique du matériau (7,2 × 10⁻⁶/°C) est très proche de celui du silicium, minimisant ainsi les écarts thermiques lors de la fabrication.
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Effecteur terminal en céramique Bernoulli — Manipulation sans contact de plaquettes fines et fragiles
L'effecteur céramique Bernoulli de St.Cera utilise la portance aérodynamique pour manipuler les plaquettes sans contact physique. Fabriqué en alumine (Al₂O₃) ou en carbure de silicium (SiC) de haute pureté (99,8 %), il est doté de buses usinées avec précision qui projettent un gaz sous pression afin de créer un film d'air fin entre l'effecteur et la plaquette. Ce principe sans contact élimine la contamination de la face arrière, l'écaillage des bords et les dommages de surface, ce qui le rend idéal pour les plaquettes fines (≤ 100 µm), fragiles ou déformées. Le substrat céramique offre une résistance à la flexion élevée (361 MPa pour l'Al₂O₃ ; jusqu'à 550–600 MPa pour le SiC), une masse réduite et une excellente stabilité dimensionnelle, garantissant un positionnement précis et reproductible dans les robots de transfert de plaquettes à grande vitesse.
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Effecteur terminal en céramique revêtu de téflon – Surface antiadhésive pour la manipulation de plaquettes sensibles
L'effecteur en céramique revêtu de téflon (PTFE) de St.Cera associe un substrat en alumine haute résistance à un revêtement uniforme en PTFE à faible coefficient de frottement (épaisseur 15–30 µm). Ce revêtement offre un coefficient de frottement extrêmement faible (≤ 0,1), une excellente résistance chimique et des propriétés antiadhésives, empêchant ainsi l'adhérence des plaquettes et éliminant toute contamination de la face arrière. Le substrat en céramique sous-jacent (99,8 % Al₂O₃) présente une résistance à la flexion élevée (361–1000 MPa), une résistance à l'usure et une stabilité thermique jusqu'à 260 °C (limite du revêtement). Cet effecteur est idéal pour la manipulation de plaquettes délicates, fines ou collantes (par exemple, après dépôt de résine photosensible ou traitements chimiques).
