Effecteur terminal en céramique revêtu de téflon – Surface antiadhésive pour la manipulation de plaquettes sensibles
L'effecteur en céramique revêtu de téflon (PTFE) de St.Cera associe un substrat en alumine haute résistance à un revêtement uniforme en PTFE à faible coefficient de frottement (épaisseur 15–30 µm). Ce revêtement offre un coefficient de frottement extrêmement faible (≤ 0,1), une excellente résistance chimique et des propriétés antiadhésives, empêchant ainsi l'adhérence des plaquettes et éliminant toute contamination de la face arrière. Le substrat en céramique sous-jacent (99,8 % Al₂O₃) présente une résistance à la flexion élevée (361–1000 MPa), une résistance à l'usure et une stabilité thermique jusqu'à 260 °C (limite du revêtement). Cet effecteur est idéal pour la manipulation de plaquettes délicates, fines ou collantes (par exemple, après dépôt de résine photosensible ou traitements chimiques).
Caractéristiques (sur la base d'un substrat en Al₂O₃ à 99,8 % avec revêtement en PTFE) :
| Propriété | Valeur |
| Matériau du substrat | 99,8 % d'alumine (ivoire) |
| Matériau de revêtement | PTFE (Téflon) |
| Épaisseur du revêtement | 15–30 μm |
| Coefficient de frottement (revêtu) | ≤0,1 |
| Résistance à la flexion du substrat (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Dureté du substrat (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Densité du substrat | 3,93 g/cm³ |
| Température de fonctionnement maximale (limite de revêtement) | 260°C |
| Rugosité de surface (avant revêtement) | Ra ≤ 0,4 μm |
| Rigidité diélectrique (substrat) | 15×10⁶ V/m |
Remarque : le revêtement en PTFE limite la température maximale à 260 °C ; pour les applications à température plus élevée, envisagez l'utilisation de céramique non revêtue ou d'autres revêtements.
Applications :
- • Manipulation des plaquettes après revêtement de photorésine (surfaces collantes)
- • Transfert de plaquettes fines ou fragiles (empêche le collage)
- Outils d'inspection et de métrologie des semi-conducteurs
- • Automatisation des salles blanches où la contamination particulaire doit être minimisée
Processus de fabrication :
Substrat céramique fritté et rectifié avec précision → rugosification de surface (gravure plasma ou grenaillage) → revêtement PTFE par pulvérisation → cuisson à 380 °C → contrôle final. Chaque effecteur est contrôlé quant à l'épaisseur du revêtement (courants de Foucault), l'adhérence (essai de quadrillage ASTM D3359) et le coefficient de frottement.
Contrôle de qualité:
Inspection visuelle à 100 % pour détecter les piqûres ou les bulles ; uniformité de l’épaisseur du revêtement à ±5 µm près ; absence de délamination après un test de pliage à 90° sur une éprouvette témoin. Contrôle dimensionnel selon les tolérances du fabricant d’origine (longueur ±0,05 mm, planéité ≤0,1 mm).
Avantages par rapport à l'absence de revêtement ou à d'autres revêtements :
- • La surface antiadhésive empêche l'adhérence et la casse des plaquettes.
- • Coefficient de frottement le plus faible parmi les revêtements céramiques
- • Excellente résistance chimique (acides, bases, solvants)
- • Réduit la génération de particules en empêchant le transfert de matière
Limitations (remarques sur les écarts matériels) :
Le revêtement en PTFE n'est pas issu des tableaux de propriétés des matériaux fournis (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Les propriétés du substrat sont strictement conformes à la fiche technique fournie (99,8 % Al₂O₃). Les propriétés du revêtement sont basées sur les spécifications standard du PTFE, aucune donnée relative au revêtement n'ayant été fournie. Pour les applications dépassant 260 °C, l'utilisation d'un effecteur final en céramique non revêtu est recommandée.*
Personnalisation :
Disponibles en longueurs de 150 à 1500 mm, avec différentes formes d'embouts (à adhérence latérale, Bernoulli, plat) et configurations de brides de montage conformes aux plans du fabricant. Revêtement partiel (zones de contact uniquement) ou revêtement complet en option.
Demander un échantillon pour des essais d'adhérence et de friction.
