Bras robotisé en céramique d'alumine de haute pureté pour la manipulation de plaquettes

Le bras robotisé en céramique d'alumine de St.Cera est fabriqué avec précision à partir d'Al₂O₃ (alumine) de haute pureté (99,8 %). Il combine une résistance à la flexion exceptionnelle (361 MPa), une dureté élevée (16 GPa) et une faible densité (3,93 g/cm³), ce qui en fait un bras à la fois léger et rigide pour le transfert de plaquettes de semi-conducteurs. Le coefficient de dilatation thermique du matériau (7,2 × 10⁻⁶/°C) est très proche de celui du silicium, minimisant ainsi les écarts thermiques lors de la fabrication.

Caractéristiques (à base d'Al₂O₃ à 99,8 %) :

Applications :

- Robots de transfert de plaquettes sous vide (200 mm/300 mm)

- Systèmes de traitement atmosphérique

- Bras effecteurs terminaux pour l'automatisation des FAB

Processus de fabrication :

Pressage isostatique → usinage à cru → frittage à 1 600 °C → rectification de précision CNC → nettoyage par ultrasons → conditionnement en salle blanche classe 100. Chaque bras est contrôlé à 100 % par machine à mesurer tridimensionnelle (MMT) pour vérifier sa planéité (±0,01 mm) et sa rugosité de surface (Ra ≤0,4 µm).

Contrôle de qualité:

St.Cera est certifiée ISO 9001:2015. Nous effectuons des contrôles par ressuage pour la détection des microfissures, des essais de flexion en trois points pour évaluer la résistance à la flexion et des essais de rigidité diélectrique selon la norme ASTM D149.

Avantages par rapport aux armes en métal :

- 50 % plus léger que l'acier inoxydable

- Absence de corrosion galvanique

- Faible génération de particules (≤0,05 particules/cm²)

- Revêtement antistatique disponible (10⁶–10⁹ Ω/sq)

Personnalisation :

Longueurs de 150 mm à 450 mm, formes d'embouts (à adhérence latérale, Bernoulli, à vide) et configurations de brides de montage conformes aux plans du fabricant. Prototypes disponibles sous 2 semaines.

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