-
ST.CERA Équipements semi-conducteurs personnalisés Mandrins en céramique
Les procédés critiques du domaine des semi-conducteurs exigent d'être réalisés en salle blanche, notamment pour les dispositifs destinés à être utilisés dans des conditions de haute température, de vide et de gaz corrosifs. Les céramiques conservent une grande stabilité dans des environnements physico-chimiques complexes.
-
ST.CERA Équipement semi-conducteur personnalisé Plaque céramique
Les procédés critiques du domaine des semi-conducteurs exigent d'être réalisés en salle blanche, notamment pour les dispositifs destinés à être utilisés dans des conditions de haute température, de vide et de gaz corrosifs. Les céramiques conservent une grande stabilité dans des environnements physico-chimiques complexes.
-
Anneau de focalisation en céramique semi-conducteur personnalisé ST.CERA
Les procédés critiques du domaine des semi-conducteurs exigent d'être réalisés en salle blanche, notamment pour les dispositifs destinés à être utilisés dans des conditions de haute température, de vide et de gaz corrosifs. Les céramiques conservent une grande stabilité dans des environnements physico-chimiques complexes.
-
Bras de chargement en céramique d'alumine 99,5 % personnalisé ST.CERA
L'effecteur terminal en céramique / bras de manutention est installé sur le robot de manutention de plaquettes ou « effecteur terminal » et est utilisé pour transporter les plaquettes de silicium dans ou hors des cassettes ou des chambres de traitement.
Les avantages de l'utilisation de la céramique sont la réduction de la déformation grâce à sa haute résistance à la flexion, sa résistance aux hautes températures et l'élimination de la contamination et des particules métalliques. -
Effecteur terminal en céramique d'alumine personnalisé ST.CERA
ST.CERA propose un revêtement ESD et un matériau céramique ESD pour l'effecteur final. Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600 ℃.
-
Anneau de focalisation en céramique semi-conductrice personnalisé ST.CERA
Fabriquées en céramique d'alumine de haute pureté (plus de 99,5 %), formée par pressage isostatique à froid et frittée à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique peuvent répondre à toutes les exigences strictes des équipements semi-conducteurs grâce à leurs caractéristiques de résistance à l'usure, de résistance à la corrosion, de faible dilatation thermique et d'isolation.
Grâce à ses propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et d'isolation, la céramique peut être utilisée pendant longtemps dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même dans des conditions de haute température, de vide ou de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
-
Douille en céramique d'alumine de précision pour semi-conducteurs ST.CERA personnalisée
Fabriquées en céramique d'alumine de haute pureté (plus de 99,5 %), formée par pressage isostatique à froid et frittée à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique peuvent répondre à toutes les exigences strictes des équipements semi-conducteurs grâce à leurs caractéristiques de résistance à l'usure, de résistance à la corrosion, de faible dilatation thermique et d'isolation.
Grâce à ses propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et d'isolation, la céramique peut être utilisée pendant longtemps dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même dans des conditions de haute température, de vide ou de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
-
Effecteur terminal de vide en céramique d'alumine personnalisé ST.CERA
Il s'agit d'un effecteur terminal/bras de manipulation en céramique de type plateau, utilisé sous vide.
L'effecteur terminal/bras de manipulation en céramique est « plus résistant à la chaleur », « moins déformable » et « plus léger » que les modèles en métal.
Grâce à ses propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et d'isolation, la céramique peut être utilisée pendant longtemps dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même dans des conditions de haute température, de vide ou de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
-
Tubes et barres en céramique d'alumine à 99,5 % personnalisés ST.CERA
Grâce à ses propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et d'isolation, la céramique peut être utilisée pendant longtemps dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même dans des conditions de haute température, de vide ou de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
-
ST.CERA Effecteur final en céramique d'alumine personnalisé pour la manipulation de plaquettes
ST.CERA propose des bras de manipulation/effecteurs terminaux en céramique avec revêtement ESD et canal creux intégré. Notre expertise réside dans une technique permettant de créer un canal d'air sous vide à l'intérieur d'une seule pièce, sans adhésif.
Il n'y a aucun risque de contamination, de dégazage ou de particules. Le bras de manipulation/effecteur sous vide de ST.CERA, doté d'une technologie de revêtement spéciale, est isolé électriquement. Nous proposons également un matériau céramique ESD isolé électriquement, sans revêtement.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃. -
Composants d'équipement semi-conducteurs à effecteur terminal en céramique d'alumine
Empêcher les particules qui peuvent se générer à partir des bords biseautés ou inclinés et de la surface arrière pendant le transport des plaquettes ou leur contact avec l'effecteur terminal / le bras de manutention.
Pour les guides, on a adopté un matériau souple qui n'endommage pas la plaquette.
L'amincissement est possible grâce à la technologie de canal sous vide intégrée de ST.CERA qui ne nécessite aucun adhésif.
Il est possible de réaliser des trous de fixation et de modifier la longueur et la largeur de la base sur laquelle l'effecteur terminal/bras de manipulation est monté sur le robot.
Les capteurs de montage, les vis et les supports sont disponibles en option.
Conçu pour être utilisé en atmosphère ambiante.
-
Usinage CNC sur mesure de l'effecteur final en céramique St.Cera
ST.CERA propose un bras de manipulation/effecteur terminal en céramique sous vide avec canal creux intégré. Nous sommes spécialisés dans une technique permettant de former un canal d'air sous vide à l'intérieur d'une seule pièce de matériau, sans utiliser de colle.
Il n'y a aucun risque de contamination, de dégazage ou de particules. Le bras de manipulation/effecteur à vide ST.CERA, doté d'un canal intégré, est robuste et utilisable à haute température. De plus, l'élimination des étapes d'assemblage superflues permet de réduire nos coûts de fabrication.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
