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Bras de chargement en céramique d'alumine 99,5 % personnalisé ST.CERA

Bras de chargement en céramique d'alumine 99,5 % personnalisé ST.CERA

Description courte :

L'effecteur terminal en céramique / bras de manutention est installé sur le robot de manutention de plaquettes ou « effecteur terminal » et est utilisé pour transporter les plaquettes de silicium dans ou hors des cassettes ou des chambres de traitement.
Les avantages de l'utilisation de la céramique sont la réduction de la déformation grâce à sa haute résistance à la flexion, sa résistance aux hautes températures et l'élimination de la contamination et des particules métalliques.


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Détails du produit

Grâce à ses propriétés de résistance aux hautes températures, à la corrosion, à l'abrasion et d'isolation, la céramique peut être utilisée pendant longtemps dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même dans des conditions de haute température, de vide ou de gaz corrosifs.

Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, l'effecteur final en céramique peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.

L'effecteur terminal en céramique avec cavité peut fonctionner à une température élevée de 800℃ grâce à une technologie de liaison céramique unique.

Voici les caractéristiques de la céramique d'alumine de différents degrés de pureté.

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ST.CERA CO., LTD.

Fiche technique du matériau

Propriétés Unité Alumine (Al2O3)
99 % Al2O3 99,5 % Al2O3 99,8 % Al2O3 99,9 % Al2O3
Couleur Blanc Ivoire Ivoire Ivoire
Densité g/cm3 3,88 3,90 3,93 3,95
Absorption d'eau % 0 0 0 0
Taille des grains μm 2~5 2~5 2~5 2~4
Résistance à la flexion MPa 350 360 361 350
Résistance à la rupture MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Dureté Vickers GPa 14 15,5 16 16
Module d'élasticité de Young GPa 370 370 380 390
Conductivité thermique W/m·k 28 32 32 34
Coefficient de dilatation thermique 10⁻⁶/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Constante diélectrique 9,5 9.6 9.6 9.9
Angle de perte diélectrique 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Force diélectrique V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Résistance spécifique Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

processus de production

Granulation par pulvérisation → poudre céramique → Mise en forme → Frittage des ébauches → Ébauche → Usinage CNC → Finition → Contrôle dimensionnel → Nettoyage et emballage

Détails essentiels

Lieu d'origine : Hunan, Chine
Matériau : Céramique d'alumine
Code SH : 85471000
Capacité de production : 100 pièces par mois
Délai de livraison : 3 à 4 semaines
Emballage : Boîte en carton ondulé, mousse, carton
Autres : Service de personnalisation disponible


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