Joint torique en céramique d'alumine haute pureté pour l'étanchéité des chambres à haute température
La bague d'étanchéité en céramique de St.Cera est conçue comme une alternative aux joints toriques en polymère pour les environnements extrêmes où les élastomères se dégradent. Fabriquée à partir d'alumine de haute pureté (Al₂O₃) à 99,8 %, cette bague d'étanchéité rigide est utilisée dans les applications d'étanchéité statique – généralement associée à un joint en métal souple ou en graphite – pour assurer une étanchéité fiable sous vide ou aux gaz jusqu'à 800 °C et dans des environnements plasma ou chimiques agressifs. Ce matériau offre une absence totale de dégazage, une résistance à la compression élevée (résistance à la flexion sous-jacente de 361 MPa) et une inertie chimique (résistant aux halogènes, aux acides et aux bases, à l'exception de HF). Les surfaces d'étanchéité rodées avec précision (planéité ≤ 5 μm, rugosité de surface Ra ≤ 0,2 μm) garantissent un contact étanche avec les composants métalliques ou céramiques en correspondance.
Caractéristiques(basé sur 99,8 % d'Al)₂O₃):
| Propriété | Valeur |
| Matériel | 99,8 % d'alumine (ivoire) |
| Densité | 3,93 g/cm³ |
| Absorption d'eau | 0% |
| Résistance à la flexion | 361 MPa |
| Résistance à la compression (est.) | >2000 MPa |
| Dureté Vickers | 16 GPa |
| Dilatation thermique (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Température maximale de fonctionnement | 800 °C (air), 1600 °C (inerte) |
| Finition de surface (face d'étanchéité) | Ra ≤ 0,2 μm (rodé) |
| Planéité (par 25 mm) | ≤5 μm |
| Taux de fuite d'hélium | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (avec joint approprié) |
Applications :
- • Joints statiques des chambres de traitement des semi-conducteurs (CVD, PVD, gravure)
- Joints de porte pour fournaises haute température
- • Brides de passage sous vide
- · Fermetures des cuves de réacteurs chimiques
Processus de fabrication :
Pressage isostatique → frittage à 1600 °C → rodage de précision double face pour obtenir des surfaces d'étanchéité ultra-planes et lisses → chanfreinage des bords → nettoyage par ultrasons. Chaque bague est testée à 100 % pour garantir son étanchéité à l'aide d'un détecteur de fuites à l'hélium et d'un joint métallique standard.
Contrôle de qualité:
- • Contrôle dimensionnel par machine à mesurer tridimensionnelle (diamètre intérieur, diamètre extérieur, épaisseur, parallélisme)
- • Profilomètre de surface pour la rugosité Ra et l'ondulation
- • Mesure de la planéité à l'aide d'un plan optique
- • Test d'étanchéité à l'hélium (méthode de contre-pression)
Avantages par rapport aux joints toriques en polymère :
- · Résiste à 800°C contre <300°C pour FFKM
- • Aucun dégazage — aucune contamination de l'environnement sous vide
- • Résistant à toutes les chimies du plasma (fluor, chlore, oxygène)
- • Aucune déformation permanente ni déformation résiduelle due à la compression
- Durée de vie illimitée en milieu propre
Limites (Remarques critiques) :
- · Ce n'est pas un joint torique.— il s'agit d'un anneau en céramique rigide qui nécessite un joint souple (cuivre, aluminium ou graphite) pour assurer l'étanchéité.
- • Ne convient pas aux mouvements dynamiques ni aux importants défauts d'alignement des brides.
- • Coût initial plus élevé que celui des joints toriques en polymère, mais durée de vie plus longue réduisant le coût total de possession.
- · Fragile — manipuler avec précaution ; éviter les chocs ponctuels ou les contraintes de flexion.
Note:Les données ci-dessus correspondent strictement au tableau des propriétés de l'Al₂O₃ fourni. Aucune donnée n'a été fournie concernant les matériaux élastomères. Ce produit est une bague d'étanchéité statique, et non un joint torique élastomère. Veuillez vérifier sa conformité aux exigences de votre application.
