Effecteur terminal en céramique d'alumine de haute pureté pour robots de manipulation de plaquettes
L'effecteur en céramique d'alumine de St.Cera est usiné avec précision à partir d'Al₂O₃ de haute pureté (99,8 %) grâce à des rectifieuses CNC 5 axes de pointe. Nos capacités de production incluent des rectifieuses de précision et des centres d'usinage CNC, permettant la réalisation de géométries complexes avec une grande précision. L'effecteur présente un profil mince (jusqu'à 1,5 mm) et un bord d'attaque conique pour une insertion aisée de la plaquette. Le matériau offre une rigidité élevée (module de Young de 380 GPa), une excellente résistance à l'usure et une stabilité thermique jusqu'à 800 °C. Chaque unité est rectifiée avec précision pour atteindre une planéité de 0,003 mm, un parallélisme de 0,002 mm et un état de surface Ra 0,1, garantissant un contact constant avec la plaquette et un fonctionnement sans particules dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs. Disponible en longueurs de 150 mm à 450 mm, avec des géométries de pointe personnalisées (à mors, Bernoulli, plate) et des brides de montage compatibles avec les robots OEM. Les options de finition de surface comprennent le rodage, le polissage ou le revêtement dissipateur ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Spécifications (basées sur 99,8 % d'aluminium)₂O₃et les capacités de fabrication de St.Cera) :
| Propriété | Valeur |
| Matériel | 99,8 % d'alumine (ivoire) |
| Densité | 3,93 g/cm³ |
| Résistance à la flexion | 361 MPa |
| Dureté Vickers | 16 GPa |
| Module de Young | 380 GPa |
| Platitude | 0,003 mm |
| Parallélisme | 0,002 mm |
| Finition de surface | Ra0.1 (rodé/poli) |
| Température de fonctionnement maximale | 800 °C |
| Gamme de longueur | 150–450 mm |
Applications :
- • Transfert de plaquettes par robots sous vide et atmosphériques
- • Effecteurs terminaux d'automatisation FAB pour plaquettes de 200 mm/300 mm
- • Manipulation de plaquettes minces (avec option ESD)
Capacités de production :
Nos rectifieuses de précision et nos centres d'usinage CNC permettent la production de composants céramiques complexes avec :
- Longueur d'usinage maximale : 1500 mm
- Diamètre extérieur maximal : 600 mm
- Diamètre intérieur minimum : 0,2 mm
- Épaisseur maximale : 100 mm
Contrôle de qualité:
Rectitude : 0,005 mm, perpendicularité : 0,005 mm, circularité : 0,002 mm, parallélisme : 0,002 mm, concentricité : 0,01 mm, vérifiées par machine à mesurer tridimensionnelle. Chaque unité est nettoyée par ultrasons et conditionnée en salle blanche de classe 100.
