Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.