Mandrin à vide en céramique poreuse à base d'alumine pour la manipulation de plaquettes minces

Le mandrin poreux à base d'alumine de St.Cera est fabriqué à partir d'Al₂O₃ de haute pureté (99,6 %) avec une porosité ouverte contrôlée de 30 à 45 % et une taille de pores uniforme comprise entre 10 et 50 µm. Contrairement aux mandrins rainurés, sa surface poreuse assure un vide réparti sur toute la face arrière de la plaquette, éliminant ainsi les marques sur les bords et permettant une manipulation délicate des plaquettes ultra-minces (≤ 100 µm) ou déformées. Ce matériau offre une résistance à la flexion supérieure ou égale à 250 MPa et une stabilité thermique jusqu'à 400 °C à l'air.

Caractéristiques(basé sur 99,6 % d'Al)₂O₃):

Applications :

• • Retouche de la face arrière des plaquettes minces (≤ 50 μm)
• Support de plaquette déformé pour le découpage
• · Prise de matrice individuelle
• Manipulation du substrat en verre

Fabrication:

Poudre mélangée à des agents porogènes → pressage isostatique → frittage à 1600 °C → rodage jusqu'à l'épaisseur finale. Chaque pièce est soumise à un test d'écoulement sous vide pour vérifier l'uniformité du vide (écart de pression < 5 %) et à un contrôle de la distribution de la taille des pores (MEB).

Avantages par rapport aux mandrins conventionnels :

• • Aucun marquage au dos de la plaquette ni décalage de la puce
• • Peut contenir des plaquettes présentant une courbure jusqu'à 500 μm
• • Surface autonettoyante (pores résistants à l'obstruction)
• Un support uniforme élimine les contraintes locales

Cpersonnalisation :

Formes rondes ou carrées, diamètre 100–450 mm. Joint d'étanchéité périphérique disponible pour le contrôle du vide par zones.

Demandez un échantillon correspondant à la taille spécifique de votre plaquette.