Anneau d'isolation en alumine PVD pour systèmes de dépôt physique en phase vapeur

L'anneau d'isolation PVD de St.Cera est fabriqué à partir d'alumine (Al₂O₃) de haute pureté (99,8 %) pour les systèmes de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Cet anneau assure l'isolation électrique entre les composants de la chambre, prévenant ainsi les arcs électriques et garantissant un fonctionnement stable du plasma. Ses principales caractéristiques comprennent une rigidité diélectrique élevée (15 × 10⁶ V/m), une résistivité supérieure à 10¹⁴ Ω·mm²/m et une stabilité thermique jusqu'à 1 600 °C. Grâce à notre usinage de précision, nous obtenons des diamètres extérieurs jusqu'à 600 mm, des diamètres intérieurs jusqu'à 0,2 mm, une planéité de 0,003 mm et un état de surface Ra 0,1. L'absence de porosité et l'inertie chimique de l'anneau garantissent une fiabilité à long terme, même dans les environnements de pulvérisation cathodique les plus agressifs.

Spécifications (basées sur 99,8 % d'aluminium)₂O₃et les capacités de fabrication de St.Cera) :

Applications :

• · Isolateurs de plaque de support cibles dans les systèmes PVD
• · Isolateurs traversants de chambre
• · Isolateurs annulaires de protection dans les systèmes de pulvérisation cathodique
• • Isolation haute tension dans les chambres à plasma

Précision de fabrication :

Concentricité : 0,01 mm, rondeur : 0,002 mm, rectitude : 0,005 mm, perpendicularité : 0,005 mm, vérifié par CMM.

Aavantages par rapport aux isolants polymères :

• • Résiste à 1600 °C, contre une limite de moins de 300 °C pour les polymères.
• • Absence de dégazage – maintien de l’intégrité du vide
• • Résiste à l'érosion par plasma et aux attaques chimiques

Personnalisation :

Sections transversales personnalisées, caractéristiques de montage, profils d'escalier et multiples conceptions d'anneaux concentriques disponibles.