Noyau en céramique d'alumine de haute pureté pour dispositifs de fixation de semi-conducteurs

Le noyau en céramique d'alumine de St.Cera est façonné avec précision à partir d'Al₂O₃ de haute pureté (99,8 %), offrant une rigidité diélectrique exceptionnelle (15 × 10⁶ V/m), une stabilité thermique jusqu'à 1 600 °C et une excellente résistance au fluage sous charge. Ces noyaux sont utilisés comme composants structuraux dans les dispositifs de traitement haute température, les bases de chauffage, les revêtements de chambres à plasma et les isolateurs électriques. La dureté élevée du matériau (16 GPa) et sa faible absorption d'eau (0 %) garantissent une fiabilité à long terme même dans des environnements difficiles.

Caractéristiques(basé sur 99,8 % d'Al)₂O₃):

Applications :

• • Noyau chauffant pour réacteurs épitaxiaux
• • Revêtement et plaques de recouvrement de la chambre à plasma
• · Isolateurs électriques haute tension
• • Base de fixation pour robots de manipulation de plaquettes

Fabrication:

Pressage isostatique → usinage à cru → frittage à 1 600 °C → rectification CNC aux dimensions finales (tolérance de ±0,01 mm). Chaque noyau est contrôlé par machine à mesurer tridimensionnelle et par ultrasons.

Assurance qualité:

Certifié ISO 9001:2015. Contrôle par ressuage pour la détection des fissures superficielles ; test de rigidité diélectrique selon la norme ASTM D149.

Aavantages par rapport aux autres céramiques :

• • Rigidité diélectrique supérieure à celle de la zircone (15 contre <10×10⁶ V/m)
• • Coût inférieur à celui du SiC pour les applications non plasma
• • Excellente résistance chimique aux halogènes (sauf HF)

Formes personnalisées :

Cylindres, barres carrées, plaques ou géométries complexes. Taille minimale des éléments : 0,5 mm.

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