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Bras de chargement en céramique d'alumine à 99,5 % personnalisé ST.CERA

Bras de chargement en céramique d'alumine à 99,5 % personnalisé ST.CERA

Brève description:

L'effecteur final/bras de manipulation en céramique est installé sur un robot de manipulation de plaquettes ou « effecteurs terminaux » et est utilisé pour transporter des plaquettes de silicium dans ou hors des cassettes ou des chambres de traitement.
Les avantages de l'utilisation de la céramique sont la réduction de la déflexion due à une résistance élevée à la flexion, la résistance aux températures élevées et l'élimination de la contamination et des particules métalliques.


Détail du produit

Mots clés du produit

détails du produit

Avec des caractéristiques de résistance aux températures élevées, à la corrosion, à l'abrasion et à l'isolation, la céramique peut fonctionner dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs dans des conditions de haute température, de vide ou de gaz corrosif pendant une longue période.

Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, l'effecteur final en céramique peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ± 0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1, une résistance à la température de 1 600 ℃.

L'effecteur final en céramique avec cavité peut fonctionner à une température élevée de 800 ℃ grâce à une technologie de liaison céramique unique.

Voici les caractéristiques de la céramique alumine de pureté différente.

paramètres du produit

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ST.CERA CO., LTD.

Fiche technique du matériau

Propriétés Unité Alumine (Al2O3)
99% Al2O3 99,5% Al2O3 99,8% Al2O3 99,9 % Al2O3
Couleur Blanc Ivoire Ivoire Ivoire
Densité g/cm3 3,88 3,90 3,93 3,95
Absorption de l'eau % 0 0 0 0
Taille d'un grain µm 2~5 2~5 2~5 2~4
Résistance à la flexion MPa 350 360 361 350
Résistance à la rupture MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Dureté Vickers GPa 14 15,5 16 16
Module élastique de Young GPa 370 370 380 390
Conductivité thermique W/m·k 28 32 32 34
Coefficient de dilatation thermique 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Constante diélectrique 9.5 9.6 9.6 9.9
Angle de perte diélectrique 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Résistance diélectrique V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Résistance spécifique Ω·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Processus de production

Granulation par pulvérisation → poudre céramique → Formage → Frittage d'ébauches → Meulage grossier → Usinage CNC → Meulage fin → Inspection dimensionnelle → Emballage de nettoyage

Détails essentiels

Lieu d'origine : Hunan, Chine
Matériel: Céramique d'alumine
Code SH : 85471000
Capacité d'approvisionnement : 100 pièces par mois
Délai : 3-4 semaines
Paquet : Boîte en carton ondulé, mousse, carton
Autres : service de personnalisation disponible


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