Plaque en céramique d'alumine grand format pour dispositifs de fixation dans les secteurs des semi-conducteurs et de l'industrie
St.Cera fabrique des plaques céramiques grand format en alumine (Al₂O₃) de haute pureté (99,8 %), jusqu'à 1 500 mm de longueur et 600 mm de largeur. Notre rectification de précision garantit une planéité de 0,003 mm sur 100 mm et un parallélisme de 0,002 mm, assurant ainsi une qualité de surface constante pour les applications de grande surface. Épaisseur jusqu'à 100 mm, rugosité de surface Ra jusqu'à 0,1. Ces plaques sont utilisées comme supports de mandrins à vide, plateaux chauffants, panneaux d'isolation électrique et fonds de chambres de traitement dans les industries des semi-conducteurs, de l'affichage et du photovoltaïque. Perçages traversants, lamages et profilage des bords disponibles.
Spécifications (basées sur 99,8 % d'aluminium)₂O₃et les capacités de fabrication de St.Cera) :
| Propriété | Valeur |
| Matériel | 99,8 % d'alumine (ivoire) |
| Densité | 3,93 g/cm³ |
| Résistance à la flexion | 361 MPa |
| Dureté Vickers | 16 GPa |
| Force diélectrique | 15×10⁶ V/m |
| Longueur maximale | 1500 mm |
| Largeur maximale | 600 mm |
| Épaisseur maximale | 100 mm |
| Planéité (pour 100 mm) | 0,003 mm |
| Parallélisme | 0,002 mm |
| Finition de surface | Ra0.1 (rodé/poli) |
| Température de fonctionnement maximale | 1600°C |
Applications :
- · Plaques de base pour mandrins à vide pour grandes plaquettes et panneaux
- · Plaques chauffantes pour équipements de traitement thermique
- Panneaux d'isolation électrique dans les systèmes à haute tension
- • Planchers et plaques de revêtement des chambres de traitement
Précision de fabrication :
Rectitude : 0,005 mm, perpendicularité : 0,005 mm, vérifiée par interféromètre laser.
Avantages par rapport aux plaques métalliques :
- • Absence de contamination métallique – un point essentiel pour les procédés de fabrication des semi-conducteurs
- • Aucun dégazage – idéal pour les environnements sous vide
- • Résistance supérieure à l'usure et aux produits chimiques
Personnalisation :
Configurations de perçage personnalisées, profils de bords, surfaces étagées et zones de montage métallisées disponibles.
