Combinée aux avantages de performance complets des matériaux de substrat traditionnels Al2O3 et BeO, la céramique de nitrure d'aluminium (AlN), qui a une conductivité thermique élevée (la conductivité thermique théorique du monocristal est de 275 W/m§k, la conductivité thermique théorique du polycristal est de 70 ~ 210 W/m§k ), une faible constante diélectrique, un coefficient de dilatation thermique adapté au silicium monocristallin et de bonnes propriétés d'isolation électrique, constituent un matériau idéal pour les substrats de circuits et les emballages dans l'industrie microélectronique.C'est également un matériau important pour les composants céramiques structurels à haute température en raison de ses bonnes propriétés mécaniques, thermiques et de sa stabilité chimique à haute température.
La densité théorique d'AlN est de 3,26 g/cm3, la dureté MOHS est de 7-8, la résistivité à température ambiante est supérieure à 1016 Ωm et l'expansivité thermique est de 3,5 × 10-6/℃ (température ambiante de 200 ℃).Les céramiques AlN pures sont incolores et transparentes, mais elles peuvent être de différentes couleurs comme le gris, le blanc grisâtre ou le jaune clair, en raison des impuretés.
En plus d'une conductivité thermique élevée, les céramiques AlN présentent également les avantages suivants :
1. Bonne isolation électrique ;
2. Coefficient de dilatation thermique similaire au monocristal de silicium, supérieur aux matériaux comme Al2O3 et BeO ;
3. Résistance mécanique élevée et résistance à la flexion similaire à celle de la céramique Al2O3 ;
4. Constante diélectrique modérée et perte diélectrique ;
5. Par rapport à BeO, la conductivité thermique des céramiques AlN est moins affectée par la température, en particulier au-dessus de 200 ℃ ;
6. Résistance à hautes températures et résistance à la corrosion ;
7. Non toxique ;
8. Être appliqué à l'industrie des semi-conducteurs, à l'industrie de la métallurgie chimique et à d'autres domaines industriels.
Heure de publication : 14 juillet 2023